1)多層膜結(jié)構(gòu)的測試分析軟X射線多層膜的結(jié)構(gòu)分析主要包括周期厚度的測量和多層膜的結(jié)構(gòu)分析。厚度的測量一般可采用高分辨的臺階儀和高分辨的光學(xué)干涉顯微鏡,但對X光膜的每層厚度來說,這兩種方法的測量精度都太差,并且不能...[繼續(xù)閱讀]

    2.2.6.1　13.9nmMo/Si多層膜反射鏡的研制13.9nm是軟X射線激光的重要輸出波長。在極紫外光刻[15]和激光等離子體的診斷中有重要的應(yīng)用。通過前面的討論可以知道,在13nm附近Mo/Si是制備多層膜的一對很好的材料。采用Mo/Si材料對進行優(yōu)化設(shè)...[繼續(xù)閱讀]

    軟X激光腔由軟X增益介質(zhì)與正入射多層膜反射鏡和分束鏡組成。軟X射線激光輸出鏡通常有兩種形式,如圖2-2-54(a)和(b)所示,前者由光柵和多層膜組成,在這方面我們研制了位相型光柵和多層膜構(gòu)成的軟X激光輸出鏡,取得了良好的結(jié)果;后...[繼續(xù)閱讀]

    一般光柵具有色分辨衍射的功能,但X射線裸光柵在入射角不大的條件下,其衍射效率是非常低的。把多層膜技術(shù)和光柵技術(shù)結(jié)合起來,則可以大大提高衍射效率。多層膜軟X射線衍射元件正是建立在這個基礎(chǔ)上的。根據(jù)實際可能,采用矩...[繼續(xù)閱讀]

    [1]B.L.Henke,P.Lee,T.J.Tanaka,etal..Theatomicscatteringfactorf1+if2,for94elementsandforthe100to2000evphotoenergyregion[C].AIP,1981,75:340-381.[2]B.L.Henke.LowenergyX-rayinteractions:photoionization,scattering,specularandBraggreflection[C].AIP,1981,75:146-...[繼續(xù)閱讀]

    衍射光柵,是一類重要的光學(xué)元件,在超短脈沖的脈寬壓縮與展寬中有重要應(yīng)用。早期的反射型衍射光柵一般都是采用金屬膜作為反射層的。但是,受到材料本身性質(zhì)的限制,金屬膜存在兩個明顯的缺點:一是衍射效率不夠高,二是激光破...[繼續(xù)閱讀]

    用嚴格矢量理論可以對多層介質(zhì)膜光柵的衍射特性進行數(shù)值計算和分析。研究衍射效率隨浮雕光柵的槽深、占寬比、剩余厚度、入射角度、波長、梯形光柵的角度、分層數(shù)目、諧波數(shù)目以及多層介質(zhì)膜折射率和厚度誤差等因素的變...[繼續(xù)閱讀]

    2.3.3.1　優(yōu)化思路以及方法用于脈沖壓縮系統(tǒng)中的MDG需要提供盡可能高的衍射效率和激光破壞閾值。為滿足壓縮光柵這種特殊的性能要求和復(fù)雜的制備工藝流程,MDG的設(shè)計主要包括3個方面的內(nèi)容:第一,用于制作MDG的多層介質(zhì)膜(簡稱光...[繼續(xù)閱讀]

    2.3.4.1　光柵結(jié)構(gòu)層的等效折射率近似在特定條件下,光柵的光學(xué)性質(zhì)可以用混合材料的等效介質(zhì)模型來描述。在相關(guān)模型中,根據(jù)光柵結(jié)構(gòu)的不同和要求精度的不同,其等效折射率可以分別用靜態(tài)理論的一階等效介質(zhì)模型和電磁理論的...[繼續(xù)閱讀]

    超短脈沖激光,對應(yīng)更寬的工作頻寬,這就要求頻帶更寬的脈沖壓縮光柵與之匹配。但是,在多層膜脈沖壓縮光柵的實際設(shè)計中,負一級衍射的頻譜寬度,除了受限于反射帶寬外,更會由導(dǎo)模共振的發(fā)生而受到限制。由導(dǎo)模共振色散特性的...[繼續(xù)閱讀]