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2.2.5 性能測試
光學(xué)薄膜

2.2.5 性能測試圖片（共9張） :
2.2.5 性能測試

        1)多層膜結(jié)構(gòu)的測試分析軟X射線多層膜的結(jié)構(gòu)分析主要包括周期厚度的測量和多層膜的結(jié)構(gòu)分析。厚度的測量一般可采用高分辨的臺階儀和高分辨的光學(xué)干涉顯微鏡,但對X光膜的每層厚度來說,這兩種方法的測量精度都太差,并且不能    （共 2505 字）     [閱讀本文] >>

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