海量資源,盡在掌握
 微電子領域使用的外延反應腔由于成本原因,不適合制備異質(zhì)襯底晶體硅薄膜太陽能電池(參見2.4.2節(jié))。異質(zhì)襯底晶體硅薄膜太陽能電池Si沉積的設備研究專注于:●大面積的分批式反應腔;●高生產(chǎn)速率的連續(xù)在線式反應腔。數(shù)個研究 (共 1530 字) [閱讀本文] >>