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 區(qū)熔再結(jié)晶ZMR的最重要作用是增大籽晶層的晶粒尺寸,其機(jī)理的解釋參見(jiàn)2.3.2節(jié)。對(duì)ZMR之前和之后的籽晶層分別進(jìn)行射哥蝕刻,可以觀測(cè)其晶體結(jié)構(gòu)的橫截面:●ZMR之前的剛沉積后層:典型的剛沉積后層中,晶粒尺寸在μm量級(jí),最先沉積的 (共 1095 字) [閱讀本文] >>