海量資源,盡在掌握
 如果大規(guī)模生產(chǎn)的液相外延LPE采用連續(xù)的在線式工藝,比不上分批式工藝,因為溶解的Si會不斷地減少,需要在每一次外延生長后更換溶液。在分批式液相外延(batchtypeliquidphaseepitaxy)中,將16片襯底同時浸潤在“無限源”(infinitesource)中,使 (共 433 字) [閱讀本文] >>