海量資源,盡在掌握
 作為另一種外延層制備技術(shù),近空間氣相輸運(yùn)(closespacevaportransport,CSVT)具有較高的化學(xué)效率(chemicalefficiency),而化學(xué)效率是指固體薄膜的Si生長量和Si供應(yīng)量的比例[40,41]。雖然CSVT技術(shù)在20世紀(jì)60年代就被了解[42],但是CSVT最近被美國國家可 (共 1027 字) [閱讀本文] >>