海量資源,盡在掌握
 1.2.4.1 薄膜應(yīng)力形成的主要機(jī)制在薄膜材料和基底材料確定以后,沉積參數(shù)和處理過程是影響薄膜應(yīng)力狀態(tài)的重要因素。表1-2-1為薄膜應(yīng)力的幾種誘因,可以看出,薄膜應(yīng)力的諸多形成和發(fā)展的因素基本都是與薄膜的制備過程相關(guān)[6~ (共 7228 字) [閱讀本文] >>