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從作用方向上來看。薄膜應力有張應力和壓應力之分。若薄膜具有沿膜面膨脹的趨勢則基底對薄膜產(chǎn)生壓應力,如圖1-2-1(a)所示;相反,薄膜沿膜面的收縮趨勢造成張應力,如圖1-2-1(b)所示。一般定義張應力為正應力,壓應力為負應力。過 (共 1868 字) [閱讀本文] >>