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三、電子束斑直徑與束流的關(guān)系
掃描電鏡與能譜儀分析技術(shù)

三、電子束斑直徑與束流的關(guān)系圖片（共4張） :
三、電子束斑直徑與束流的關(guān)系

        電子束的最終束斑尺寸dp直接影響圖像分辨率。人們總希望電子光學(xué)系統(tǒng)可以提供最小的束斑dmin,又可獲得最大的束流imax,這就必須建立imax～dmin之間的關(guān)系。最終束斑直徑dp從公式(5.2)導(dǎo)出:將各直徑分別代入上式:前兩項(xiàng)為衍射和球差    （共 577 字）     [閱讀本文] >>

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