一種帶有鉗位二極管的溝槽型SiC MOSFET
摘要: 提出了一種嵌入鉗位二極管的溝槽型超結(jié)SiC MOSFET (Integrated Clamping Diode Superjunction MOSFET, SCD-MOS)結(jié)構(gòu)。在P~+屏蔽層(P-shield)和源級之間集成鉗位二極管,鉗位二極管的引入不僅提升了器件的動(dòng)態(tài)性能,還有效解決了器件動(dòng)態(tài)電阻的問題。采用Sentaurus TCAD仿真工具進(jìn)行數(shù)值模擬,系統(tǒng)分析了器件... (共9頁)
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