基于多尺度特征提取和注意力機(jī)制的輕量化晶圓缺陷檢測(cè)方法

摘要： 在半導(dǎo)體制造中，晶圓圖缺陷檢測(cè)至關(guān)重要，能夠?qū)θ毕葸M(jìn)行快速定位，實(shí)現(xiàn)對(duì)缺陷的識(shí)別，對(duì)于提升晶圓產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率具有意義。然而，現(xiàn)有方法存在局限性，如模型過于龐大，網(wǎng)絡(luò)模型深度過深，難以充分利用多層次特征進(jìn)行精確分類。為了解決這些問題，結(jié)合了Stem-Dense特征提取模塊和多尺度注意力特征融合結(jié)構(gòu)，提出了一種新型網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)——MSD-DFE。MSD-DFE通過Stem-Dens... （共9頁）