熱載荷作用下銅膜層對柔性電子復(fù)合薄膜熱應(yīng)力分布和電學特性影響的研究

摘要： 為定量表征熱載荷作用下銅膜層對柔性電子復(fù)合薄膜應(yīng)變分布和電學特性的影響，建立了基于數(shù)字圖像相關(guān)法的熱變形測試工作站和電學測試站的綜合測試系統(tǒng)，首先在柔性聚合物上通過磁控濺射方法制備了銅導(dǎo)電層厚度為50、100、200、500 nm的二維馬蹄形柔性電子復(fù)合薄膜，并對柔性電子復(fù)合薄膜在恒速率加熱條件下進行原位和全局變形檢測和電信號穩(wěn)定性檢測。提取了二維馬蹄形互連的熱應(yīng)變場，并重點分... （共8頁）