銅及銅合金的導(dǎo)電性能與抗氧化性能研究進(jìn)展

摘要： 隨著微電子器件微型化與高密度集成化的快速發(fā)展，高性能銅基微細(xì)絲憑借優(yōu)異的傳導(dǎo)性能被廣泛應(yīng)用于集成電路引線鍵合。然而，銅基鍵合線在存儲以及服役過程中易受環(huán)境中的氧侵蝕形成Cu₂O/CuO氧化層，導(dǎo)致界面接觸電阻升高，嚴(yán)重影響電子元器件的使用壽命和穩(wěn)定性。本文從導(dǎo)電性能優(yōu)化、導(dǎo)電機(jī)理研究、抗氧化性能實(shí)驗(yàn)研究、改善抗氧化性能方法以及抗氧化機(jī)理等方面綜述了銅及銅合金的導(dǎo)電性能和抗氧化... （共12頁）