參數(shù)自適應的NC-AFM懸臂控制系統(tǒng)設計

摘要： 由于非接觸原子力顯微鏡的成像精度在很大程度上依賴于用于保持懸臂梁恒幅振蕩的諧振頻率解調與反饋回路的性能。為提升諧振頻率的解調和反饋環(huán)路的性能，本文設計了一種參數(shù)自適應懸臂控制系統(tǒng)，對傳統(tǒng)鎖相環(huán)和幅度比例積分控制器的結構進行了改進，分別引入最小均方算法和單神經(jīng)元PID算法，實現(xiàn)了系統(tǒng)關鍵參數(shù)的自適應調節(jié)。通過系統(tǒng)測試與實驗驗證，該方法成功實現(xiàn)了對微懸臂梁的穩(wěn)定控制，將鎖相環(huán)的頻率... （共7頁）