MEMS氣體傳感器發(fā)展現(xiàn)狀與對策

摘要： 新型MEMS氣體傳感器具有功耗低、體積小、靈敏度高、選擇性好、集成度高等優(yōu)點而被廣泛應用。隨著物聯(lián)網(wǎng)、微機電系統(tǒng)技術與人工智能的快速發(fā)展，利用MEMS氣敏傳感陣列與人工智能算法構建的人工嗅覺技術在更多的領域中發(fā)揮重要作用，實現(xiàn)氣體傳感器從“功能實現(xiàn)”到“性能提升”到“智能化”的發(fā)展路線。從MEMS氣體傳感器的種類、氣敏材料、傳感機理及應用等方面描述了其研究現(xiàn)狀，并聚焦MEMS氣... （共7頁）