光學元件亞表面損傷抑制技術研究進展

摘要： 隨著光學制造和精密加工技術的不斷進步，光學元件的表面質量對其性能和使用壽命起著至關重要的作用。亞表面損傷為影響光學元件功能和可靠性的主要因素之一，已成為光學加工中的研究重點。本文綜述了硬脆光學材料的磨削機理，分析了亞表面損傷的形成機理及磨削過程中抑制亞表面損傷的相關方法。隨后，重點介紹了幾種先進的表面加工方法，包括磁流變加工、等離子體刻蝕、激光加工和離子束刻蝕等，探討了他們在抑... （共11頁）