微納米三坐標測量機的技術(shù)進展

摘要： 超精密器件是國家重大裝備與高端儀器的關(guān)鍵組成部分，其幾何特征尺寸常介于數(shù)百微米至數(shù)百毫米之間，而精度要求高達數(shù)十至數(shù)百納米。為確保此類器件的質(zhì)量，必須實現(xiàn)其三維形貌的超精密測量。本文首先綜述了微納米三坐標測量機（Coordinate Measuring Machine, CMM）的研究進展，從整機結(jié)構(gòu)設(shè)計、誤差補償技術(shù)、納米測頭研制、測量環(huán)境控制及整機應(yīng)用測試等方面進行了系統(tǒng)性... （共19頁）