寬波段光柵國(guó)內(nèi)外研究綜述

摘要： 衍射光柵是光譜儀器中的核心光學(xué)元件，與普通光柵相比，寬波段光柵能夠在較寬的波段范圍內(nèi)滿(mǎn)足光譜分析需求。本文綜述了寬波段光柵的國(guó)內(nèi)外研究進(jìn)展，總結(jié)了復(fù)雜槽形光柵、分區(qū)光柵、中階梯光柵以及多層介質(zhì)光柵四類(lèi)寬波段光柵的特點(diǎn)。其中，復(fù)雜槽形光柵的光譜連續(xù)性高，衍射效率曲線穩(wěn)定，但其質(zhì)量受加工精度影響較大；分區(qū)光柵的設(shè)計(jì)靈活度高，加工工藝成熟，但子區(qū)域之間存在相位錯(cuò)配與衍射場(chǎng)差異問(wèn)題，易... （共25頁(yè)）