基于輸入整形的單壓電變形鏡振動(dòng)抑制

摘要： 為了抑制單壓電變形鏡在工作中鏡面產(chǎn)生的振動(dòng)，提出了基于輸入整形的單壓電變形鏡振動(dòng)抑制方法。通過對(duì)單壓電變形鏡的結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析，搭建單壓電變形鏡的動(dòng)力學(xué)模型。利用軟件仿真分析輸入整形器對(duì)單壓電變形鏡階躍響應(yīng)曲線中位移超調(diào)量和調(diào)整時(shí)間的影響，再搭建實(shí)驗(yàn)平臺(tái)進(jìn)行驗(yàn)證。最后，通過對(duì)變形鏡重構(gòu)離焦面形的仿真，分析整形技術(shù)在變形鏡實(shí)際控制中的抑振效果。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，在5 kHz的控制頻率下采... （共8頁）