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跨尺度微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)研制及誤差分析

光學(xué)精密工程 頁數(shù)： 12 2025-10-10
摘要： 為解決三維超精密測(cè)量中大行程運(yùn)動(dòng)與高精度測(cè)量之間的矛盾，研制了一種新型的跨尺度微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（Cross-Scale Micro-Nano Coordinate Measuring Machine, CSMN-CMM），測(cè)量體積為100 mm×100 mm×100 mm。不同于傳統(tǒng)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的結(jié)構(gòu)形式，CSMN-CMM采用獨(dú)立的、三維方向都符合阿貝原則的計(jì)量系統(tǒng)布局，既消除... （共12頁）

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