平面光柵刻劃機微定位系統(tǒng)壓電校正技術

摘要： 針對平面光柵刻劃機在刻劃過程中因壓電陶瓷驅動器的遲滯非線性特性引發(fā)的微定位精度下降問題，提出一種基于分段Prandtl-Ishlinskii(PI)模型的復合控制誤差補償方法，提升光柵刻劃的分度定位精度與穩(wěn)定性。設計一套光柵分度微定位誤差監(jiān)測及校正系統(tǒng)，通過構建分段PI模型描述其非線性行為，利用最小二乘法辨識壓電陶瓷驅動器的遲滯特性，并將逆模型作為前饋補償環(huán)節(jié)，結合閉環(huán)反饋控制... （共11頁）