氮?dú)饬髁勘葘?duì)三靶高功率脈沖磁控共濺射(TiSiAlCrV)N薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響

摘要： 目的 研究氮?dú)饬髁勘龋ā觯?duì)(TiSiAlCrV)N薄膜化學(xué)成分、相組成、沉積速率、微觀結(jié)構(gòu)及性能的影響，提高65Mn鋼的耐磨和耐蝕性能。方法 使用相位可控三靶高功率脈沖磁控共濺射，在不加熱條件下制備(TiSiAlCrV)N高熵合金氮化物薄膜，通過掠入射X射線衍射儀、納米壓痕儀、摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)和電化學(xué)工作站分別測試薄膜物相、硬度（H）和彈性模量（E）、耐磨性能、耐蝕性能，并通過... （共12頁）