鍍鋁超表面材料激光刻蝕研究:從kHz納秒激光到GHz飛秒激光

摘要： 目的 超表面具有出色的電磁波調(diào)控能力及波段選頻性能，在航空航天、光學器件、生物醫(yī)學界等領域具有廣泛應用前景。本研究擬采用不同脈寬及脈沖模式激光對鍍鋁超表面材料進行對比刻蝕實驗與理論探索，從而掌握針對該類材料的優(yōu)化激光刻蝕方法，并闡明其工作機理。方法 首先，觀察評估不同激光參數(shù)下超表面金屬鋁膜的去除程度及形貌變化，對比分析微觀表面的成分組成；然后采用COMSOL Multiphy... （共12頁）