大功率射頻離子源反射保護(hù)系統(tǒng)設(shè)計(jì)
摘要: 大功率射頻(Radio Frequency,RF)離子源因其無燈絲壽命限制且無電極污染,成為中性束注入系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)態(tài)運(yùn)行的理想選擇。然而在RF離子源運(yùn)行過程中,等離子體阻抗的動(dòng)態(tài)變化可能導(dǎo)致反射功率增大,進(jìn)而降低RF耦合效率,甚至損壞核心設(shè)備。為解決這一問題,設(shè)計(jì)了一種基于單片機(jī)的反射保護(hù)系統(tǒng),通過高精度模數(shù)轉(zhuǎn)換器(Analog-to-Digital Converter,ADC... (共11頁)
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