四質(zhì)量塊MEMS陀螺儀正交誤差整體校正研究

摘要： 微機(jī)械電子系統(tǒng)陀螺儀在加工制造過(guò)程中由于工藝缺陷造成陀螺彈性主軸發(fā)生偏斜，從而產(chǎn)生正交誤差。為了減小正交誤差對(duì)陀螺儀性能的影響，對(duì)四質(zhì)量塊微機(jī)械陀螺儀正交誤差校正方法進(jìn)行了研究。首先，對(duì)正交誤差產(chǎn)生的原因及其對(duì)輸出的影響進(jìn)行了分析；其次，對(duì)兩種正交剛度校正結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析，并以此為基礎(chǔ)，提出了一種四質(zhì)量塊陀螺儀正交誤差的整體校正法；最后，對(duì)正交誤差校正前后的陀螺儀性能進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)試... （共6頁(yè)）