雙動(dòng)鏡平動(dòng)式與雙動(dòng)臂旋轉(zhuǎn)式干涉儀動(dòng)態(tài)性能對(duì)比

摘要： 雙動(dòng)鏡平動(dòng)式和雙動(dòng)臂旋轉(zhuǎn)式干涉儀雖能較好地降低動(dòng)鏡傾斜的影響，但現(xiàn)有研究未能明確兩者的差異特征，導(dǎo)致在高精度場(chǎng)景中常因性能誤判而選型錯(cuò)誤。該文通過(guò)構(gòu)型對(duì)比揭示了兩類(lèi)干涉儀差異，設(shè)計(jì)了功能和尺寸近似的兩類(lèi)干涉儀，其中，平動(dòng)式干涉儀尺寸為443.546 mm×243.773 mm，旋轉(zhuǎn)式干涉儀的尺寸為387.546 mm×300 mm。模擬了動(dòng)鏡傾斜情況下的干涉范圍，其中，平動(dòng)式干... （共8頁(yè)）