基于粒子群-梯度下降混合優(yōu)化的物鏡偏振像差測(cè)量研究

摘要： 受到鍍膜及材料雙折射、內(nèi)部應(yīng)力的影響，高數(shù)值孔徑光學(xué)系統(tǒng)不可避免存在一定的偏振像差，使得系統(tǒng)的成像質(zhì)量與入射光偏振態(tài)相關(guān)?，F(xiàn)有偏振像差測(cè)量技術(shù)一般裝置較為復(fù)雜，測(cè)量不便，效率較低。針對(duì)此問(wèn)題，提出了使用往返式光路進(jìn)行測(cè)量，利用偏振分辨波前測(cè)量技術(shù)從聚焦光場(chǎng)的強(qiáng)度分布反演顯微物鏡的Jones矩陣，降低系統(tǒng)復(fù)雜度。首先，基于光線追跡及標(biāo)量衍射理論建立了數(shù)值計(jì)算模型，模擬聚焦光場(chǎng)不同... （共8頁(yè)）