大行程快刀伺服系統(tǒng)設(shè)計與控制技術(shù)研究

摘要： 面向超精密的光學(xué)自由曲面或表面微結(jié)構(gòu)的制造問題，文章研制了一種大行程快速刀具伺服系統(tǒng)。該系統(tǒng)的設(shè)計采用音圈電機(jī)（voice coil motor, VCM）作為驅(qū)動元件，以氣浮導(dǎo)軌進(jìn)行支撐與導(dǎo)向，并通過有限元分析的方法對動子靜力學(xué)特性和模態(tài)進(jìn)行了仿真分析。根據(jù)系統(tǒng)所需性能指標(biāo)搭建了伺服系統(tǒng)，通過頻響測試并基于最小二乘法建立了被控對象的數(shù)學(xué)模型。隨后結(jié)合數(shù)學(xué)模型對控制系統(tǒng)進(jìn)行建模... （共7頁）