敏感元件粘接變形特性與石英加速度計(jì)性能變化

摘要： 敏感元件作為石英加速度計(jì)的核心器件，其結(jié)構(gòu)微變形直接影響加速度計(jì)的性能。常用粘接工藝會(huì)改變敏感元件的幾何形狀和尺寸，進(jìn)而影響加速度計(jì)性能。為此，基于石英加速度計(jì)基本原理和力學(xué)模型，仿真分析了溫域下敏感元件面形變化對(duì)加速度計(jì)性能的影響。利用激光干涉儀實(shí)現(xiàn)了時(shí)域下敏感元件面形定量高精度測(cè)量，分析了敏感元件面形變化與加速度計(jì)性能變化的關(guān)系。對(duì)樣品加速度計(jì)進(jìn)行全溫實(shí)驗(yàn)和老化實(shí)驗(yàn)，證明敏... （共9頁(yè)）