高過載下MEMS環(huán)形陀螺的響應(yīng)建模與失效分析

摘要： 針對(duì)一種MEMS環(huán)形陀螺在高過載下出現(xiàn)沖擊失效現(xiàn)象，對(duì)其進(jìn)行了結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué)響應(yīng)建模與失效機(jī)理分析?；跍?zhǔn)靜態(tài)、振動(dòng)和彈性波理論建立了陀螺結(jié)構(gòu)對(duì)環(huán)境沖擊的動(dòng)力學(xué)響應(yīng)模型。在所建立的MEMS環(huán)形陀螺動(dòng)力學(xué)沖擊響應(yīng)模型基礎(chǔ)上，分析了MEMS環(huán)形陀螺的吸合和斷裂失效機(jī)理，推導(dǎo)得到發(fā)生吸合失效發(fā)生時(shí)的平衡位移和斷裂失效發(fā)生時(shí)的敏感位置，并獲得了失效發(fā)生時(shí)的沖擊表達(dá)式。通過高過載實(shí)驗(yàn)獲得了M... （共9頁）