新型微杠桿增強MEMS加速度計的設(shè)計與制作

摘要： 為提升MEMS加速度計的靈敏度，提出并設(shè)計了一種新型微杠桿增強MEMS加速度計。利用有限元分析工具對有、無微杠桿結(jié)構(gòu)的雙擺式加速度計進行了仿真計算。結(jié)果顯示增加杠桿結(jié)構(gòu)后扭轉(zhuǎn)梁的等效應(yīng)力集中只有無杠桿結(jié)構(gòu)時等效應(yīng)力水平的47%,并且檢驗質(zhì)量塊位移為無杠桿結(jié)構(gòu)時的3.5倍。進一步對杠桿結(jié)構(gòu)輔助雙擺式加速度計進行了工藝路線設(shè)計和制作，并將敏感結(jié)構(gòu)與信號檢測電路進行了集成。測試結(jié)果表... （共5頁）