流量傳感器用高精度差壓芯體的設(shè)計(jì)

摘要： 通過優(yōu)化差壓流量傳感器芯體敏感結(jié)構(gòu)及封裝設(shè)計(jì)，解決現(xiàn)有壓力、流量測(cè)量在精度、穩(wěn)定性和適應(yīng)性上的不足。差壓式氣體流量傳感器利用伯努利原理，設(shè)計(jì)了一種雙平衡扭轉(zhuǎn)梁+T型梁結(jié)構(gòu)諧振式差壓敏感芯體，相比于傳統(tǒng)單梁結(jié)構(gòu)，通過調(diào)整結(jié)構(gòu)參數(shù)使Q值從15 084提高到37 124以上，有效保證了高性能。并通過硼硅玻璃實(shí)現(xiàn)應(yīng)力隔離，在125℃情況下敏感膜上產(chǎn)生的熱應(yīng)力降至3.375 MPa。對(duì)敏... （共4頁）