低熱導率玻璃基MEMS熱式流速傳感器制備與研究

摘要： 面向氣體的低流速測量，在低熱導率玻璃基底上采用剝離工藝制備蛇形鉑(Pt)薄膜作為熱敏電阻，構(gòu)成了熱分布型微機電系統(tǒng)(MEMS)流速傳感器。傳感器尺寸為10 mm×10 mm,在室溫條件下，傳感器加熱電阻為247Ω,測溫電阻為419.7Ω。測溫電阻具有良好的溫度—阻值線性度(R~2≥0.999)。通過改變加熱電阻與測溫電阻之間的間距，可實現(xiàn)0～1.0 m/s的測量范圍，其中，在0... （共5頁）