異質(zhì)a-C:H/a-C:H:F配副的摩擦學(xué)行為研究

摘要： 目的 研究F元素?fù)诫s非晶碳基薄膜與a-C:H薄膜摩擦配副的摩擦學(xué)行為機制。方法 利用PECVD法在Si基底上制備a-C:H:F薄膜，與直徑為6.0 mm的a-C:H薄膜摩擦對偶球組成摩擦配副體系，使用往復(fù)模式的CSM TRB 3摩擦機研究a-C:H:F薄膜的摩擦學(xué)特性，頻率為5 Hz，滑動總次數(shù)為9 000，外加載荷分別為2、4、6、8、10N。通過納米硬度、X射線光電子能譜、... （共9頁）