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大氣壓雙頻容性耦合Ar/O2等離子體特性研究

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁數(shù): 9 2023-11-10
摘要: 文章利用二維流體模型對雙頻調(diào)制大氣壓Ar/O2放電特性進(jìn)行了研究,著重討論高低頻電壓、低頻頻率等不同匹配方式對等離子體參數(shù)的影響,并且通過對電子加熱模式、電子密度、中性粒子密度、正離子能量以及正離子總通量等分析了大氣壓Ar/O2放電雙頻調(diào)控機(jī)制。結(jié)果表明,低頻源電壓的改變使得電子加熱模式由α模式轉(zhuǎn)變?yōu)镈A/α混合模式,且等離子體密度、正離子總通量及離子能量均隨著低頻電壓的升... (共9頁)

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