石英MEMS陀螺檢測電極分布參數(shù)優(yōu)化

摘要： 針對(duì)石英微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）陀螺檢測電極輸出感應(yīng)電壓較低問題，通過優(yōu)化檢測電極分布參數(shù)，提升其機(jī)械靈敏度。首先，分析檢測電極分布參數(shù)對(duì)陀螺輸出感應(yīng)電荷的影響，確定優(yōu)化方案的控制參數(shù)和目標(biāo)函數(shù)。其次，基于有限元方法（FEM）構(gòu)建三種石英MEMS陀螺的機(jī)電耦合模型。最后，使用內(nèi)爾德-米德（NM）算法優(yōu)化檢測電極分布參數(shù)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，優(yōu)化后的檢測電極分布參數(shù)更加合理，石英MEMS... （共6頁）