可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器壓電驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)

摘要： 針對(duì)可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器中普遍存在的輸出光頻率無(wú)跳模調(diào)諧范圍小、掃描頻率低、結(jié)構(gòu)復(fù)雜等亟待解決的問(wèn)題，研究了可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器內(nèi)部壓電驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)特性?；谔岣呋剞D(zhuǎn)精度、降低軸心偏移量的設(shè)計(jì)目標(biāo)，提出了一種多葉片并聯(lián)的星型柔性機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)。基于Lagrange方程和Duhamel積分，分別建立了壓電驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)微分方程和振動(dòng)方程，在此基礎(chǔ)上建立了柔性機(jī)構(gòu)的動(dòng)力學(xué)模型并對(duì)其結(jié)構(gòu)參... （共10頁(yè)）