差分式聲表面波溫度應(yīng)變復(fù)合傳感器

摘要： 基于聲表面波理論和微擾理論，提出了并研制由3個諧振器組成的差分式聲表面波溫度應(yīng)變復(fù)合傳感器。通過有限元分析軟件對AT切和XY切的兩種聲表面波諧振器進行了仿真，根據(jù)其頻率-應(yīng)變響應(yīng)和頻率-溫度響應(yīng)，設(shè)計并研制了能夠進行溫度補償和應(yīng)力-應(yīng)變補償?shù)臏囟葢?yīng)變傳感器，傳感器的應(yīng)力測量靈敏度為100 Hz/με，溫度測量靈敏度為80 kHz/℃。該傳感器成功應(yīng)用到了隔離開關(guān)的狀態(tài)監(jiān)測?，F(xiàn)場... （共6頁）