當(dāng)前位置：首頁(yè) > 科技文檔 > 儀器儀表 > 正文

基于微形變分析的電容式MEMS加速度計(jì)溫漂誤差精密估計(jì)方法

系統(tǒng)工程與電子技術(shù) 頁(yè)數(shù)： 9 2023-12-12
摘要： 針對(duì)傳統(tǒng)的電容式微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical system, MEMS)加速度計(jì)(capacitive MEMS accelerometers, CMA)溫漂誤差(temperature drift error, TDE)補(bǔ)償方法存在非精準(zhǔn)溯源TDE致使TDE估計(jì)精度低、反復(fù)嘗試估計(jì)模型構(gòu)型導(dǎo)致構(gòu)建過(guò)程復(fù)雜繁瑣的問(wèn)題，提出基于微形變分析的CMA ... （共9頁(yè)）

開(kāi)通會(huì)員，享受整站包年服務(wù)立即開(kāi)通 >
科技文檔
數(shù)學(xué) 力學(xué) 化學(xué) 金融 證券 保險(xiǎn) 投資 會(huì)計(jì) 審計(jì) 園藝 林業(yè) 旅游 體育 物理學(xué) 生物學(xué) 天文學(xué) 氣象學(xué) 海洋學(xué) 地質(zhì)學(xué) 新能源 金屬學(xué) 農(nóng)藝學(xué) 農(nóng)作物 管理學(xué) 領(lǐng)導(dǎo)學(xué) 自然科學(xué) 系統(tǒng)科學(xué) 資源科學(xué) 無(wú)機(jī)化工 有機(jī)化工 燃料化工 化學(xué)工業(yè) 材料科學(xué) 礦業(yè)工程 冶金工業(yè) 安全科學(xué) 環(huán)境科學(xué) 工業(yè)通用 機(jī)械工業(yè) 無(wú)線電子 電信技術(shù) 鐵路運(yùn)輸 汽車工業(yè) 船舶工業(yè) 動(dòng)力工程 電力工業(yè) 農(nóng)業(yè)科學(xué) 農(nóng)業(yè)工程 植物保護(hù) 動(dòng)物醫(yī)學(xué) 教育理論 學(xué)前教育 初等教育 中等教育 高等教育 職業(yè)教育 成人教育 自然地理 地球物理 經(jīng)濟(jì)統(tǒng)計(jì) 農(nóng)業(yè)經(jīng)濟(jì) 工業(yè)經(jīng)濟(jì) 交通經(jīng)濟(jì) 企業(yè)經(jīng)濟(jì) 文化經(jīng)濟(jì) 信息經(jīng)濟(jì) 貿(mào)易經(jīng)濟(jì) 財(cái)政稅收 市場(chǎng)研究 科學(xué)研究 互聯(lián)網(wǎng) 自動(dòng)化 輕工業(yè) 核科學(xué) 服務(wù)業(yè) 石油然氣 服務(wù)業(yè) 野生動(dòng)物 水產(chǎn)漁業(yè) 硬件 儀器儀表 航空航天 武器軍事 公路運(yùn)輸 水利水電 建筑科學(xué) 軟件