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一種基于局部間斷Galerkin方法的IC互連線電容提取策略

微電子學(xué) 頁數(shù)： 7 2024-02-20
摘要： 求解橢圓方程的局部間斷Galerkin(LDG)方法具有精度高、并行效率高的優(yōu)點(diǎn)，且能適用于各種網(wǎng)格。文章提出采用LDG方法來求解IC版圖中電勢分布函數(shù)滿足的Laplace方程，從而給出了一個提取互連線電容的新方法。該問題的求解區(qū)域需要在矩形區(qū)域內(nèi)部去掉數(shù)量不等的導(dǎo)體區(qū)域，在這種特殊的計(jì)算區(qū)域上，通過數(shù)值測試驗(yàn)證了LDG方法能達(dá)到理論的收斂階。隨著芯片制造工藝的發(fā)展，導(dǎo)體尺寸和... （共7頁）

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