具有低EMI和低開啟損耗的浮空P區(qū)IGBT研究
微電子學
頁數(shù): 6 2024-02-20
摘要: 為了優(yōu)化浮空P區(qū)IGBT結構的電磁干擾噪聲(EMI)與開啟損耗(E_(on))的折中關系,提出一種假柵溝槽連接多晶硅阻擋層的浮空P區(qū)IGBT結構。新結構在浮空P區(qū)內引入對稱的兩個假柵溝槽,并通過多晶硅層連接。假柵溝槽將浮空P區(qū)分為三部分,減少了柵極溝槽附近的空穴積累,降低了柵極的固有位移電流。二維結構仿真表明,在小電流開啟時,該結構與傳統(tǒng)結構相比,柵極溝槽空穴電流密度減小90%... (共6頁)