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器件與電路參數(shù)對SET波形影響仿真研究

微電子學(xué) 頁數(shù): 6 2023-12-20
摘要: 利用Sentaurus TCAD仿真軟件,建立并校準(zhǔn)了MOSFET仿真模型。分析了NMOS器件在重離子轟擊下產(chǎn)生的SET波形。結(jié)果表明,轟擊位置在漏極且入射角呈120°時(shí),器件具有最大的峰值電流。通過建立MIX、TCAD、SPICE三種反相器模型并施加重離子轟擊,研究了不同模擬方式下電路響應(yīng)對SET波形的影響,指出了采用雙指數(shù)電流源在SPICE電路中模擬的不準(zhǔn)確性。采用MIX模... (共6頁)

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