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功率集成電路TID加固環(huán)柵器件研究現(xiàn)狀綜述

微電子學(xué) 頁(yè)數(shù): 8 2023-12-20
摘要: 總結(jié)了標(biāo)準(zhǔn)工藝下功率集成電路中總劑量輻射(TID)加固環(huán)柵MOS器件與環(huán)柵功率器件的研究現(xiàn)狀,歸納了不同結(jié)構(gòu)形態(tài)的環(huán)柵器件的性能優(yōu)劣,推薦8字形環(huán)柵MOS器件、華夫餅功率器件及回字形LDMOS器件結(jié)構(gòu)用于功率集成電路的TID加固設(shè)計(jì)。同時(shí),闡述了現(xiàn)有環(huán)柵MOS器件等效W/L的建模情況,提出保角變換是環(huán)柵MOS器件等效W/L精確建模的重要方法,最后還給出了環(huán)柵器件建庫(kù)的基本流程。 (共8頁(yè))

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