基于視線標定立體偏折術的離軸非球面面形檢測

摘要： 為實現離軸非球面光學元件面形的準確高效測量，提出一種基于立體偏折術并結合點云匹配數據處理的方法，該方法可用于離軸非球面光學元件結構參數的擬合與面形測量。首先，根據立體偏折術原理獲得離軸非球面的點云數據，然后，利用點云數據與離軸非球面理論模型的幾何關系，通過非線性最小二乘算法對姿態(tài)誤差和非球面結構參數進行優(yōu)化，最后，利用上述的幾何關系、姿態(tài)誤差和優(yōu)化后的結構參數完成點云數據和理論... （共9頁）