熱解法在氮化硼基底上沉積碳膜衰減器的工藝研究

摘要： 螺旋線行波管是一種應(yīng)用較為廣泛的寬頻帶、高增益行波功率放大器件。衰減器是提高管子性能穩(wěn)定性的關(guān)鍵部件之一。它不僅可以吸收在管子輸入、輸出端及切斷端傳輸介質(zhì)的變化引起的反射波，抑制反射波和向前波疊加引起的自激振蕩；而且，可以減小傳輸電路在輸入、輸出端及切斷端產(chǎn)生的阻抗不匹配的影響，擴(kuò)寬行波管有效傳播的頻帶寬度；同時可以避免陶瓷桿的上的電荷積累造成的放電或電弧。文章通過低壓真空熱解...