聲壓增強型壓電微機械超聲換能器

摘要： 壓電微機械超聲波換能器(PMUT)在醫(yī)療成像、測距、無損檢測和流量感應(yīng)等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。針對傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)PMUT輸出聲壓較低的問題，該文提出了一種集成亥姆霍茲諧振腔的聲壓增強型PMUT。構(gòu)建了聲壓增強型PMUT的等效電路模型，模擬并對比分析了聲壓增強型PMUT和傳統(tǒng)PMUT的軸上聲壓。結(jié)果表明在70 kHz諧振頻率下，聲壓增強型PMUT沿z軸的輸出聲壓比傳統(tǒng)的PMUT沿z軸...