高頻聲表面波液滴霧化器設(shè)計與實驗研究

摘要： 針對現(xiàn)有的霧化裝置粒徑分散較廣及難以生成大量微米級與亞微米級液滴等問題，設(shè)計并加工了一種基于聲表面波的液滴霧化裝置。首先，利用COMSOL仿真軟件對聲表面波器件的結(jié)構(gòu)建模并進行壓電仿真分析，模擬聲表面波的振動傳播，得到其諧振頻率為18.269 MHz。其次，基于聲-壓電耦合多物理場模擬聲波在固-液界面的衍射，以及在液體中的傳播過程。最后，加工聲表面波霧化實驗裝置并進行液滴霧化實...