鎵基液態(tài)金屬柔性叉指陣列電容傳感器設(shè)計(jì)及實(shí)驗(yàn)測試

摘要： 為解決傳統(tǒng)叉指電容傳感器采用銅和印制電路板打印制備無柔性、難以貼合不平整被測物表面等問題，提出了基于鎵基液態(tài)金屬的柔性叉指陣列電容傳感器設(shè)計(jì)方案。考慮電極層和基板的影響及叉指陣列結(jié)構(gòu)的影響構(gòu)建傳感器數(shù)學(xué)模型，確定傳感器的各項(xiàng)參數(shù)。利用鎵基液態(tài)金屬制備柔性叉指陣列傳感器，對其進(jìn)行實(shí)驗(yàn)標(biāo)定和輸出特性測試，并將其應(yīng)用于材料材質(zhì)識別研究。測試與仿真結(jié)果表明，該柔性叉指陣列電容傳感器具有... （共6頁）