雜質鉭對真空電子束蒸鍍鋁膜的影響研究

摘要： 采用電子槍對含鉭雜質的鋁錠進行真空電子束蒸鍍，隨著溫度升高鋁錠形成熔池和鋁蒸氣。利用電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀(ICP-OES)檢測鋁錠不同區(qū)域的鉭含量；利用掃描電子顯微鏡(SEM)、能譜儀(EDS)和X射線衍射儀(XRD)研究鋁錠和蒸鍍鋁膜的微觀組織、化學成分和物相結構；通過俄歇電子能譜儀(AES)和X射線光譜儀(XPS)分別分析鋁錠和鋁膜中元素形態(tài)和組成形式。結果表明，隨著...