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高靈敏度網(wǎng)狀石墨烯微弱壓力傳感器的研究

微電子學(xué) 頁數(shù): 6 2023-08-20
摘要: 為了改善微弱壓力傳感器的靈敏度,利用微結(jié)構(gòu)來產(chǎn)生壓阻效應(yīng)的方法,制備出一種性能優(yōu)異的壓力傳感器。研究了三種不同結(jié)構(gòu)的石墨烯壓力傳感器,并設(shè)計(jì)和研究了石墨烯壓力傳感器的版圖結(jié)構(gòu)、工藝制備流程和材料表征。最后,對(duì)三種不同結(jié)構(gòu)的石墨烯壓力傳感器進(jìn)行了靈敏度測(cè)試。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的石墨烯壓力傳感器具有較高的靈敏度,在低壓強(qiáng)下(0~200 Pa)的靈敏度可達(dá)到0.303 kPa~(...

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